La temperatura e l'umidità dello spazio laboratorio costruzione sono principalmente determinati secondo i requisiti di processo, ma il livello di comfort umano dovrebbe essere presi in considerazione quando i requisiti di processo. Con il miglioramento dei requisiti di pulizia aria, c'è stata una richiesta sempre più severe per la temperatura e l'umidità del processo. I requisiti di processo specifico per temperatura verranno elencati più avanti, ma in linea di principio, a causa della precisione di lavorazione sempre più più fine, i requisiti per la gamma di fluttuazione di temperatura sono sempre più piccoli e più piccoli.
Ad esempio, nel processo di esposizione Litografia della produzione di circuiti integrati su larga scala, la differenza nel coefficiente di espansione termica tra il vetro e la lastra di silicio come materiale maschera è necessaria per essere sempre più piccoli. 100 um wafer di silicio del diametro, l'aumento di temperatura di 1 grado, ha causato una dilatazione lineare di 0.24um, deve avere una temperatura costante di ± 0,1 gradi, mentre il valore di umidità è generalmente più basso, perché persone sudare, il prodotto verrà essere inquinato, in particolare è paura del workshop di semiconduttore di sodio, questa temperatura di laboratorio non deve superare 25 gradi, il problema dell'eccessiva umidità generata più problemi. Quando l'umidità relativa superiore al 55%, si forma condensa sulla parete tubo acqua raffreddamento. Se si verifica in un circuito o un dispositivo di precisione, causerà incidenti vari.
Regolazioni di pressione
Per la maggior parte delle camere pulite, è necessario mantenere la pressione interna (pressione statica) superiore alla pressione esterna (pressione statica) per impedire l'intrusione di contaminazione esterna. Il mantenimento della differenza di pressione in genere dovrebbe rispettare i principi seguenti:
1. la pressione di spazio pulito è superiore alla pressione di pulizia-spazio.
2. il livello di pulizia ad alta pressione è superiore alla pressione del livello di pulizia bassa adiacente.
Il mantenimento della differenza di pressione dipende dalla quantità di aria fresca che può compensare per la quantità di aria che fuoriesce dal divario sotto questa differenza di pressione. Quindi il significato fisico della differenza di pressione è la resistenza alla penetrazione (o perdite) quando il volume di aria passa attraverso varie lacune nella camera pulita.
Regolazioni di velocità dell'aria in camera bianca
La velocità di flusso d'aria di essere discusso qui si riferisce alla velocità di flusso d'aria nella camera bianca. La velocità di flusso d'aria in altri ambienti sterili è discusso quando si parla di attrezzature specifiche.
Per il turbolenta camera pulita poiché il principale si basano principalmente sulla diluizione dell'aria per ridurre il grado di inquinamento indoor, il concetto del numero di ricambi d'aria pricipalmente è usato anziché utilizzare direttamente il concetto di velocità, ma ci sono anche le seguenti requisiti per la velocità dell'aria interna;
(1) la velocità dell'aria in uscita l'uscita dell'aria non deve essere troppo grande. Rispetto ad una semplice camera climatizzata, richiede più veloce velocità attenuazione e un maggiore angolo di diffusione.
(2) la velocità di flusso di aria (ad esempio, la velocità di ricircolo al momento dell'alimentazione laterale) che è soffiata sul piano orizzontale non dovrebbe essere troppo grande, per non saltare in aria le particelle di superficie per restituire al flusso d'aria e causare la ricontaminazione. Questa velocità non si consiglia in genere di essere grande come 0,2 m/s.
Per il flusso parallelo pulizia camera "comunemente indicato come la laminare clean room", la velocità della sezione trasversale è un indicatore molto importante, dovuto al fatto che il pistone è principalmente utilizzato per il flusso di aria per escludere la tintura. In passato, si faceva riferimento agli Stati Uniti 20gB standard e 0,45 è stato utilizzato. m/s. Ma la gente ha anche imparato che la quantità d'aria necessaria per una velocità così grande è molto grande. Al fine di risparmiare energia, stanno anche cercando la fattibilità di ridurre la velocità del vento.
In Cina, sia le misure di Cleantech aria e il codice di progettazione di camere bianche sono
Flusso parallelo verticale (flusso laminare) camera pulita ≥0.25 m/s
Flusso parallelo orizzontale (flusso laminare) camera pulita ≥ 0,35 m/s
Controllo del rumore
Norme acustiche per costruzione laboratorio pulito sono generalmente più restrittive di quelle per la protezione della salute. Lo scopo è quello di garantire che le operazioni sono effettuate normalmente e che sono soddisfatte necessario contatto colloquiale e un ambiente di lavoro sicuro e confortevole. Di conseguenza, è il principale indicatore di rumore in una camera pulita.
1. l'effetto di guai
A causa del rumore, persone si sentono a disagio e hanno difficoltà a emozioni. In genere si dividono in molto tranquillo, molto tranquillo, tranquillo, un po' rumoroso, relativamente rumoroso ed estremamente rumoroso. Dove il livello di risposta è molto rumoroso ed estremamente rumoroso, è alta ansia, e la percentuale di un numero elevato di anomalie nel numero totale è tasso di ansia elevata.
2. impatto sull'efficienza del lavoro
Questo dipende principalmente il livello di risposta nelle tre aree. Questi tre aspetti sono: concentrazione, precisione di azione e velocità di lavoro;
3. interferenze con le comunicazioni integrate